四碘化钛的应用

发布日期:2020/3/3 8:33:10

背景及概述^[1]

四碘化钛红色立方晶体。相对密度4.3，熔点150℃，沸点377.1℃。易吸潮，在空气中发烟。溶于冷水，遇热水分解。能与氨、吡啶、乙酸乙酯生成2∶1的加合物。与过量氨发生氨解作用，生成氨基碱式碘化钛。微溶于石油醚，适中地溶于苯中，较易溶于氯代烃和二硫化碳中。在高温下可逆地同金属钛反应，生成二碘化钛。同二碘化钛反应，生成三碘化钛。由金属钛与碘蒸气反应，或碳化钛同碘反应，或四氯化钛与氢和碘混和物反应均制得。

结构

应用^[2-3]

四碘化钛可用于金属钛的精炼等。其应用举例如下：

1）用于使用原子层沉积的Ti膜来调整TiOx化学计量的过程。

方法涉及如下在室中的衬底上沉积高纯且共形的钛：(i)将衬底暴露至四碘化钛；(ii)清洗室；(iii)将衬底暴露至等离子体；(iv)清洗室；(v)重复(i)至(iv)，并处理衬底上沉积的钛来形成亚化学计量的氧化钛。氧化钛还可以在衬底上沉积钛之前来沉积。处理包含将衬底暴露至氧源和/或对衬底退火处理。

2）使用四碘化钛前体低温沉积纯钛薄膜。

一个方面包括通过在低于约450℃的温度下使用原子层沉积循环在半导体衬底上沉积钛，其中每个循环包括：(i)将所述衬底暴露于四碘化钛，(ii)吹扫所述室，(iii)将所述衬底暴露于点燃的等离子体，以及(iv)吹扫所述室；以及重复(i)至(iv)直至在所述衬底上沉积了期望厚度的钛。每个循环可沉积具有厚度为约的钛。