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硅烷

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硅烷

中文名称:
硅烷
CAS号:
7803-62-5
英文名称:
Silicon tetrahydride
MF:
H4Si
MW:
32.12
EINECS:
232-263-4
Mol File:
7803-62-5.mol

硅烷 性质

熔点 
-185 °C
沸点 
-112 °C
密度 
1.114 g/mL at 25 °C(lit.)
蒸气密度
1.1 (vs air)
形态
colorless gas
水溶解性 
decomposed by H2O; insoluble alcohol, benzene [HAW93]
Merck 
13,8562
暴露限值
TLV-TWA 5 ppm (6.5 mg/m3) (ACGIH).
EPA化学物质信息
Silane (7803-62-5)
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硅烷 用途与合成方法

应用

四氢化硅广泛应用于电子工业、能源工业、玻璃工业、化学工业及高科技领域等多个行业和领域,其主要用做生产液晶 TFT、太阳能电池、半导体、感光体材料等。近几年,由于我国集成电路产业发展迅速,超大规模或大规模集成电路在国有很大的发展空间,这将使四氢化硅的消费量日益增长。同时,由于太阳能市场的繁荣仍将持续,据预测,从2010年至2020年,全球四氢化硅市场将以年均20%的速率增长。四氢化硅是一种重要的特种气体,是一个国家气体产业是否先进的重要标志。我国作为经济迅速发展的大国,每年消耗的多晶硅将近4000吨左右,每年消耗的四氢化硅约为200~300吨,有较大的接触人群。

用途 

用于集成电路制造、太阳能电池、涂膜反射玻璃等

用途 

用于制造集成电路、太阳能电池、涂膜反射玻璃等

类别

有害气体

毒性分级

中毒

急性毒性

吸入-大鼠 LC50: 9600 PPM/4小时; 吸入-小鼠 LCL0: 9600 PPM/4小时

爆炸物危险特性

与空气混合易爆

可燃性危险特性

易燃; 遇热分解有毒硅和易燃氢气; 与液体接触防止烫伤

储运特性

库房通风低温干燥; 与氧化剂、卤素分开存放

灭火剂

雾状水、泡沫、二氧化碳

职业标准

TLV-TWA 7 毫克/立方米

安全信息

危险品标志 
F+,Xn
危险类别码 
12-17-20
安全说明 
9-16-33-36/37/39
危险品运输编号 
UN 2203 2.1
WGK Germany 
1
RTECS号
VV1400000
TSCA 
Yes
HazardClass 
2.1

MSDS

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