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网站主页化工产品目录有机原料无机酸酯硅酸乙酯正硅酸四乙酯

正硅酸四乙酯

Ethyl Silicat

￥500.00 2KG 起订

上海更新日期：2024-04-18

上海众巍化学有限公司

VIP8年

联系人：林先生

手机：18824865657 拨打

邮箱：joey.lin@wechem.cn

产品详情:

中文名称：: 正硅酸四乙酯

英文名称：: Ethyl Silicat

CAS号：: 78-10-4

纯度规格：: 99.999999

产品类别：: 化学品 ( Chemical )

产品编号：: WE34

产品等级：: 电子级

月产量：: 5000

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正硅酸四乙酯/ TEOS

名称

正硅酸四乙酯(TEOS)

化学式

C8H20O4Si

相对分子量

208.33

CAS号

28767

理化性质

无色透明液体，熔点－77℃，沸点168.5℃，密度0.9346g/ml。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。

主要用途

主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。

典型应用

CVD类型

材料

APCVD

TEOS,O3

LPCVD

TEOS

PECVD

TEOS,O2

产品标准

项目Item

标准值Standard Value

项目Item

标准值Standard Value

纯度

99.999999% (8N)

铌（Nb）max

0.1ppb

铝（Al）max

0.2ppb

镍（Ni）max

正硅酸四乙酯 ( Ethyl Silicate )

公司简介

上海众巍是中国先进材料供应商。我们为国内外客户提供气体，化学品及相关产品服务，产品涉及各个工业领域，如钢铁，造船，半导体，光学纤维，医药，食品等。

成立日期	(10年)
注册资本	5000000
员工人数	10-50人
年营业额	￥ 5000万-1亿
经营模式	贸易,工厂,试剂,定制,服务
主营行业	特殊化学试剂,基础无机试剂,特种化学品